目前，针对VOCs的治理方法很多，归纳起来有以下几种：

1）吸收法：是利用废气中各混合组分在选定的吸收剂中溶解度的不同，或其中一种或多种组分与吸收剂中活性组分发生化学反应，达到将有害物从废气中分离出来、净化废气目的的一种方法。实质上就是将废气中气态污染物转移到液相，往往会生成二次污染。本法适用于大气量、低温度、低浓度的亲水性废气成分，对于不具有亲水性废气不适用。

2）冷凝回收法：根据废气的性质，将有机废气通过冷冻装置冷却到合适的凝固温度，其中的气态有机废气转变为液态被分离出来，此法投入成本高、运行成本低、治理效率高、设备维护强度小。尤其对高浓度、具有回收价值的气态物质尤其适用。低浓度、混合气体不适用。

3）直接燃烧法（TO）：利用燃气或者燃油等辅助燃料燃烧，将混合气体加热，从常温加热到750℃以上使有害物质在高温作用下分解为无害物质。

直接燃烧法的优点是，出口温度比较稳定，利用PLC程序自动调节燃烧和出口温度，使温度保持在稳定的区间范围内，特别对后端生产需要热能且对温度波动要求严格的场合；利用TO的燃烧热来代替原有使用天然气燃烧炉为生产工艺提供热量，是非常理想的选择。TO克服了RTO出口温度不稳定、连续变化的缺点。

4）蓄热式焚烧法（RTO）：在高温下（750--850C）将有机废气氧化生成CO2和H2O，从而净化废气，并回收分解时所释出的热量，热回收效率达95%以上，治理效率达95%以上。是目前应用较经济有效的处理技术，特别适用于气体中小流量、中高浓度的有机废气的处理。因为采用陶瓷蓄热体，装置重量大，一次性投资费用相对较高。出口温度是连续变化的。

5）催化燃烧；把废气加热经催化燃烧转化成无害的二氧化碳和水；本法起燃温度低、节能、净化率高、操作方便、占地面积、设备投资较大，适用于高温或高浓度有机废气。但废气中决不允许有使催化剂中毒的成分，如卤化物、重金属、S、As、汞等成分。此法运行成本高昂，贵金属催化剂价格昂贵，且催化剂运行寿命只有7200小时必须更换。

6）活性炭吸附法：有机废气经活性炭吸附，新的活性炭刚开始使用时可达90%及以上的净化率，但随着吸附饱和度的增加，处理效率一路下降，很快达不到排放标准。设备简单、投资较小，但活性炭更换频繁，运行成本巨大；更换下来的活性炭属于危险废物，需专业处理，处理成本高；还增加了装卸、运输、更换等工作程序，导致运行费用和劳动强度增加。

7）吸附-催化燃烧法：此法综合了吸附法及催化燃烧法的优点，采用新型吸附材料（蜂窝状活性炭）吸附，在接近饱和后引入热空气进行脱附、解析，脱附后废气引入催化燃烧床无焰燃烧，将其彻底净化，热气体在系统中循环使用，大大降低能耗。本法具有运行稳定可靠、运行成本低、维修方便等优点，适用于大风量、低浓度的废气治理。但废气中决不允许有使催化剂中毒的成分，如卤化物、重金属、S、As、汞等成分。此法运行成本高昂，贵金属催化剂价格昂贵，且催化剂运行寿命只有7200小时必须更换。另外活性炭脱附后活性降低，经几次脱附后需更换，更换下来的活性炭属于危险废物，需由专业固废处理，处理成本高。

8）低温等离子体：在外加电场放电过程中，电子从电场中获得能量，通过非弹性碰撞将能量转化为污染物分子的内能或动能，这些获得能量的分子被激发或发生电离形成活性基团，同时空气中的氧气和水分在高能电子的作用下也可产生大量的新生态氢、活性氧和羟基氧等活性基团，这些活性基团相互碰撞后便引发了一系列复杂的物理、化学反应。但对VOC处理效果极低。适用于超低浓度（<30mg/m³）的有机废气及油烟类废气的分解，治理效率只有约30%的治理效果。

9）UV光催化氧化法：在特定紫外光的作用下，激发产生臭氧，羟基自由基对有害气体进行协同分解氧化反应，特别适用于超低浓度的市政恶臭气体的分解治理，使恶臭气体物质转化为无臭味的小分子化合物或完全矿化，治理效率约30%。适用于超低浓度，有恶臭成分的有害物处理。

在实际运行中，特别是在即将实行的实时在线监测开启，选择实时、高效治理方法是工业废气治理的主要趋势，传统的工艺方法一般不推荐业主使用，以避免前期高价投入，后期实际治理效果不理想但运行成本巨大，不能满足环保监测环境下运营需要。